P04200 - SEMI P42 - ウェーハ露光システムへの自動レシピ伝送のためのレチクルデータの仕様 StdPbc-0801 mass flow controllers and meters

mass flow controllers and meters

SEMI MF84-0312 (Reapproved 1023)

Ease of Use

本スタンダードは基板を処理するあらゆる製造装置に適用可能である。サービスを実装するには装置およびファクトリシステムがネットワークで統合されていなければならない。

P04200 - SEMI P42 - ウェーハ露光システムへの自動レシピ伝送のためのレチクルデータの仕様 StdPbc-0801 mass flow controllers and metersNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Global Micropatterning CommitteeJapanese Micropatterning Committee2009Japanese Regional Standards Committee20042www. semi. org20043 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain