P01200 - SEMI P12 - 誘導結合プラズマ発光分光法（ICP）によるポジティブ・フォトレジスト中の鉄，亜鉛，カルシウム，マグネシウム，銅，ホウ素，アルミニウム，クロム，マンガン，及びニッケルの測定 Revision:SEMI P12-0997 - Inactive 本文書で説明する方法は，マスフローコントローラ（MFC： mass flow controller）にその寿命を通じてメーカーの公表した仕様を満たすだけの機能が備わっているかどうかを調べるのに役立つ。テスト結果は，複数のMFCの比較を行う上でも有益である。

本文書で説明する方法は，マスフローコントローラ（MFC： mass flow controller）にその寿命を通じてメーカーの公表した仕様を満たすだけの機能が備わっているかどうかを調べるのに役立つ。テスト結果は，複数のMFCの比較を行う上でも有益である。

If the fingers block the two-dimensional code

Such training systems are used by technical training organizations/departments to instruct technicians and engineers to successfully operate

SEMI E82-1101 (technical revision)

P01200 - SEMI P12 - 誘導結合プラズマ発光分光法（ICP）によるポジティブ・フォトレジスト中の鉄，亜鉛，カルシウム，マグネシウム，銅，ホウ素，アルミニウム，クロム，マンガン，及びニッケルの測定 Revision:SEMI P12-0997 - Inactive 本文書で説明する方法は，マスフローコントローラ（MFC： mass flow controller）にその寿命を通じてメーカーの公表した仕様を満たすだけの機能が備わっているかどうかを調べるのに役立つ。テスト結果は，複数のMFCの比較を行う上でも有益である。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.