C04100 - SEMI C41 - 2-プロパノールの仕様とガイドライン Revision:SEMI C41-0705 - Superseded Substrates with an edge length

Substrates with an edge length less than 200 mm follow the specifications for a semiconductor mask (refer to SEMI P1)

This Guide references SEMI E78

本仕様は，インタフェース面に関してツール内に必要なスペースを定義する。この仕様は，標準メカニカルインタフェース (SMIF) スタンダード，SEMI E19に言及する。

regulators

C04100 - SEMI C41 - 2-プロパノールの仕様とガイドライン Revision:SEMI C41-0705 - Superseded Substrates with an edge lengthNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Liquid Chemicals Global Technical Committeeglobal Audits and Reviews Subcommittee20054720056www. semi. org19782003 2005 2 2 0. 81. 2 m Referenced SEMI Standards SEMI C1 Guide for the Analysis of Liquid Chemicals